低温等离子废气处理工艺，低温等离子废气处理技术采用双介质阻挡放电形式产生等离子体，所产生等离子体的密度是其他技术产生等离子体密度的1500倍，初用于氟利昂类、哈隆类物质的分解处理，后延伸恶臭、异味、有毒有害气体处理。该技术节能、环保，应用范围广，所有化工生产环节产生的恶臭异味几乎都可以处理，并对二恶英有良好的分解效果。
有关实验证明采用电晕放电形式的低温等离子体处理恶臭废气是可行的，停留时间越长、电压越高，脱除效果越好，实验中测试结果表明当停留时间大于50 s，电压25 kV时恶臭物质的去除率基本大于90％ ，进一步延长停留时间和升高电压，去除效率并不会大幅度提高。废气中氧气浓度的提高可以明显提高硫化氢脱除率。很多次的试验结果基本上与实验室的试验结果相符，但要取得和实验室同样的处理效率，中试停留时间要比实验室试验的停留时间长。
低温等离子处理工艺主要是利用放电来产生很多的高能粒子，然后对分子进行降解、氧化、裂解以及电离。近年来，低温等离子处理工艺成为国内外重视的一个重点问题。将低温等离子处理工艺应用到低浓度、大风量有机废气处理中，具有处理量大、低能耗等优点。但是，这种处理工艺在应用的过程中会产生很多副产物，不能够完全将有机废气降解为水和二氧化碳。
